短波紅外相機(jī)是一種用于拍攝短波紅外光譜范圍內(nèi)的相機(jī)。短波紅外光譜范圍通常在1微米到3微米之間。短波紅外相機(jī)能夠捕捉到人眼無(wú)法看到的紅外輻射，因此在很多領(lǐng)域有廣泛的應(yīng)用。

1半導(dǎo)體晶圓檢測(cè)

晶圓是一種薄的半導(dǎo)體材料基材，用于制造電子集成電路。半導(dǎo)體材料種類多樣，其中最常用的一種半導(dǎo)體材料是硅(Si)。

晶圓在生產(chǎn)過(guò)程中會(huì)產(chǎn)生各種缺陷，比如在各環(huán)節(jié)累積的殘余應(yīng)力會(huì)使得晶圓內(nèi)部產(chǎn)生裂紋。如果未能在后續(xù)IC制造環(huán)節(jié)之前把這些缺陷檢測(cè)出來(lái)，就會(huì)影響最終成品IC芯片的良率，推高制造成本。利用短波紅外光能穿透硅片的特性，使用短波紅外相機(jī)就能檢測(cè)到硅片內(nèi)部的缺陷，防止不良晶圓流入后續(xù)環(huán)節(jié)，大大降低制造成本。

2物品分選

短波紅外波段對(duì)應(yīng)分子鍵振動(dòng)的合頻和倍頻，通過(guò)檢測(cè)物品對(duì)不同波長(zhǎng)的短波紅外光的吸收情況，就能分析出物品的種類和缺陷等信息。因此，短波紅外相機(jī)也被廣泛用于谷物、茶葉、塑料等的分揀。

3短波紅外測(cè)溫

對(duì)于幾百度以上的高溫目標(biāo)，短波紅外測(cè)溫相對(duì)于目前常用的非制冷長(zhǎng)波紅外測(cè)溫具有測(cè)溫穩(wěn)定、精度高、響應(yīng)速度快等優(yōu)勢(shì)。使用短波線掃相機(jī)，對(duì)于傳送帶上快速移動(dòng)的物體進(jìn)行成像和測(cè)溫，可以極大地消除拖尾效應(yīng)的影響，得到畫質(zhì)清晰、測(cè)溫準(zhǔn)確的短波紅外圖像。

4光伏板隱裂檢測(cè)

在晶體硅太陽(yáng)電池的生產(chǎn)過(guò)程中，會(huì)產(chǎn)生隱裂、劃傷等缺陷，這些缺陷限制了電池的光電轉(zhuǎn)換效率和使用壽命，然而這些缺陷大部分是難以通過(guò)肉眼或可見(jiàn)光成像等手段檢測(cè)出來(lái)。利用硅太陽(yáng)能電池具有的電致發(fā)光（EL）和光致發(fā)光（PL）特性，可以通過(guò)外加正向偏壓或激光照射激發(fā)的方式，使太陽(yáng)能電池片自身發(fā)出短波紅外光。而缺陷區(qū)域的發(fā)出的光相對(duì)于正常區(qū)域會(huì)有明顯的差別，通過(guò)短波紅外相機(jī)對(duì)激發(fā)狀態(tài)下的太陽(yáng)能電池片進(jìn)行檢測(cè)，就能有效地檢測(cè)出其內(nèi)部缺陷。